虽然芯片工厂问题不大，有帝都提供，王逸可以省下几十亿。

但里面的生产线，光刻机等设备，都要王逸自己解决。

这些才是最贵的，保守估计后续投入也得一百五十亿起步。

像是光刻机，2010年阿斯麦就推出了EUV光刻机TWINSCANNXE:3100。

前世，2013年阿斯麦又推出EUV光刻机NXE:3300。

不过这些先进的EUV光刻机，王逸就不考虑了，不现实，不可能对内地企业出售的。

前世中芯国际订购了一台EUV光刻机，花了1.2亿美金，钱都付了，最后因为帝国阻挠，阿斯麦也迟迟没有发货。

相反，内地企业能买到的，也就是落后很多代的DUV光刻机。

比如2016年出的NXT1980Di，是前世内地企业买到的最先进光刻机之一，也是中芯国际主力机型。

更先进的DUV光刻机NXT:2000i，都买不到，更别说NXT:2050i。

NXT1980Di原本用于制造300nm-38nm制程，二重曝光后可以达到19nm制程。

中芯国际，华力等企业，都是用NXT1980Di二重曝光，量产28-19nm的芯片。

同样，要用NXT:1980Di来制造14nm、7nm的芯片，那就得靠多重曝光技术，对厂家的技术要求非常高，量产芯片的成本也很高。

最初，台积电用NXT:1980Di来制造7nm芯片，效果很不理想，良品率低，成本高，最后还是换上EUV光刻机，才实现了完美的7nm。

但中芯国际买不到EUV光刻机，只能硬着头皮用NXT1980Di进行三重曝光，四重曝光，甚至五重曝光。

幸好梁老能力突出，在多重曝光领域造诣颇深，硬是推出N+1、N+2工艺，用NXT1980Di这种落后的光刻机，实现了14nm、10nm，甚至7nm。

梁老的两重曝光技术，不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上，成本也不会增加太多。

使得中芯国际的28nm工艺大规模量产，能满足大多数芯片需求。

14nm需要三重曝光，凭借梁老的技术，良品率和成本也能保证。

可7nm制程，就要用NXT1980Di四重曝光，技术方面梁老都能解决，但良品率和成本就不好说了。

巧妇难为无米之炊。

拿着NXT1980Di当EUV3300用，真是太强人所难。

不过，在国产光刻机突破之前，这也是迫不得已的办法。

当然，2011年NXT1980Di还没有发布。

王逸当下能买到的光刻机型号，是2009年推出的NXT：1950i，和今年刚推出的NXT：1960Bi。

其实1950i/1960Bi/1970ci/1980Di，这四款光刻机都是同样的光源系统，单次曝光都在38nm以上，多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm，甚至7nm。

后续的NXT：1960Bi、1970Ci、1980Di，不过是在NXT：1950i进行了部分升级，提高了良品率和精度，本质上相差不大。

像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，很多都是用的NXT：1950i！

毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候，NXT：1980Di光刻机才开始量产！

7nm之前的制程，三星台积电用的都是1950i、1960Bi、1970Ci等老型号。

只要不量产7nm，都没压力。

同样，王逸的12英寸晶圆厂，若是买到NXT：1950i和1960Bi，也能从明年的28nm，一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，甚至7nm。

但今年刚出的1960Bi不太现实，估计阿斯麦不卖。

不过老款的1950i运作一下，还是有希望的。

当下欧美对国内的封锁限制，还不是那么严密。

若是趁机出手，多订一批，那后续就高枕无忧了。

哪怕溢价买，都不成问题！

王逸记得，前世EUV光刻机要1.2亿美金，1980Di要7200万美金。

而当下的1950i估计会便宜一些。

为此，王逸拿出手机，开始查数据。

果然，一台1950i光刻机要4000万欧元，5470万美元，也就是3.5亿人民币。

进上十台，就是35亿。

20台就是70亿！

为什么一次性进这么多？还不是怕做大了被锤！

当然趁着当下风头不紧，抓紧多进一些！

这样后续产能扩大，都够用，一直用到2018年1980di都不再禁售。

当然，不能只压阿斯麦，小日子那边也得看看。

原本光刻机三巨头阿斯麦，尼康，佳能。

如今佳能已经放弃高端，停留在55nm，再往上完全干不动。

阿斯麦不但在DUV光刻机领域独领风骚，而且开始发力EUV光刻机，进军7nm以下的制程。

而尼康还在苦苦坚持，高端领域没希望，可是中低端领域还是没问题的。

比如尼康的NSR-S620D和阿斯麦的1950i，性能差不了多少，多重曝光后也可以做10-28nm，甚至7nm。

而且价格更便宜，只要3000万美元。

英特尔当下的订单，都是以尼康NSR-S620D为主，少量阿斯麦1950i。

同样，王逸也可以两边押注。

若是阿斯麦出货不多，进展不顺利，尼康这边也完全能用。

直到7nm以下，尼康才彻底掉队的。

28-10nm，尼康还是可以一战的。

王逸有了计较，等芯片工厂这事稳了，得找时间去一趟尼康和阿斯麦，谈一下光刻机订单。

这种订单不是下单了就有货的，相反，都是提前一年订。

王逸现在订货，明年到货就不错了。

届时，正好芯片工厂也差不多建好了，直接设备入驻，然后安装调试，顺利的话，后年就能量产芯片了。

当然，就怕不顺利！

毕竟当下要买阿斯麦的光刻机，阿斯麦都会提前派一支考察团队，前来考察。

再综合评定半导体企业的规模，产能，资金状况之后，才会出货。

一般的小企业，新企业，阿斯麦根本懒得理会。

毕竟当下的光刻机行业，是绝对的卖方市场，根本供不应求。

不过这种考察团队，那就好操作了。

像是前世的汉城弘芯，哪怕刚成立，哪怕千亿骗局，可依旧在2018年就拿到了1980Di光刻机。

至于原因，就是因为有有蒋老坐镇。

蒋老在台积电干了那么多年，接收了上百台阿斯麦光刻机，所有阿斯麦高层都认识他。

就冲着蒋老的面子，所谓的考察都会顺利通过，光刻机都得交付。

虽然这台光刻机马上就被弘芯抵押给了银行，获得5.8亿元贷款，蒋老也被坑得差点身败名裂……

只能说弘芯的资本局，太特么高端了。

同样，星逸半导体这边，若是能直接订购光刻机，那自然最好。

但若是订购不了，也得找个大佬坐镇，那就没压力了。

王逸最看重的还是梁老。

但可惜，梁老目前刚入职三星半导体，又被台积电告了。

这场官司一直持续到2015年才有结果，前世2017年梁老才进入中芯国际。

王逸想把梁老挖来，也很麻烦。

先不说三星愿不愿意放人，台积电那边怎么摆平，都是个大问题！

除非星逸半导体、台积电、梁老三方达成合作，梁老离开三星半导体加入星逸半导体，台积电撤诉，王逸给台积电大单，让出部分利益。

这样台积电得到好处，也封杀了死对头三星半导体的崛起。

星逸半导体引入梁老，也能引来大发展。

至于星逸半导体对台积电的威胁？这不是问题。

比起三星这种庞然大物，星逸半导体不值一提，台积电根本不看在眼里。

何况欧美限制了EUV光刻机，台积电不觉得星逸半导体能做大。

最多低端芯片自己生产，高端芯片的订单，还是得台积电代工，多了一个大客户，也算是合作的基础。

当然，这前提是星逸手机做大，星逸芯片研发成功，达到数千万级，才有资格去运作这个事情，才有资格和台积电合作。

而且未必容易，所以王逸还得准备planB！

最起码在梁老自由之前，王逸得找個半导体大牛，带着星逸半导体解决28nm和14nm工艺。

这真不容易。

普通人才好挖，没多少约束。

当下中芯国际内斗不断，很多人才都头大地想离开，王逸伸出橄榄枝，待遇丰厚，他们自然愿意加入。

还有台积电、三星那边，也能挖！

可领头人物，就难了！

王逸打定主意，找个时间先见一见梁老，提前聊一聊这事！